EUV-Lithografie: Die Riesenmaschine | Bit-Rauschen 2022/14
Bit-Rauschen: Der Prozessor-Podcast von c’t - Un pódcast de c't Magazin - Miercoles
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Winzige Chipstrukturen verlangen riesige Lithografiesysteme. Die teuren Giganten mit EUV-Strahlung sind Thema im Podcast Bit-Rauschen, Folge 2022/14.
